1. 반도체 캐니스터(Canister)

반도체 제조 공정에서 매우 중요한 역할을 하는 특수 용기입니다.

유기 및 무기금속 화합물, 전구체(Precursor), 기타 화학 물질을 안전하게 보관하고 공급하기 위한 용기 입니다.

2. 특징
1) 화학물질 보관 및 운송 - 반도체 공정에서 사용되는 민감하고 위험할 수 있는 화학물질들을 외부 오염이나 변질 없이 안전하게 담아 운반하고 저장합니다.

2) 고순도 유지 - 반도체 공정은 극도의 청정도를 요구하므로, 캐니스터는 내부 물질의 고순도를 유지하는 데 필수적입니다.

이를 위해 특수 재질(예: 스테인리스 스틸)과 밀폐 기술이 적용됩니다.

3) 공정으로의 안정적 공급 - 캐니스터는 증착(CVD, ALD 등) 공정에서 전구체를 장비로 안정적으로 공급하는 역할을 합니다.

이때, 전구체의 증기압이나 농도를 일정하게 유지하는 것이 중요합니다.. 

떠라서 캐리어 가스 주입, 온도 및 압력 제어, 레벨 센서 등이 적용되기도 합니다.

3, 종류와 기능
1) 전구체 캐니스터 (Precursor Canister) - CVD(화학 기상 증착)나 ALD(원자층 증착)와 같은 증착 공정에서 박막을 형성하는 데

사용되는 전구체를 담는 용기입니다.

전구체의 특성에 따라 가열, 냉각, 압력 조절 등의 기능이 추가될 수 있습니다.

2) 벌크 캐니스터 (Bulk Canister) - 공정에 투입되기 전 대량의 화학물질을 운송하고 저장하는 데 사용되는 캐니스터입니다.

3) 정화 기능이 있는 캐니스터 -: 일부 캐니스터는 반응 가스에 대한 정화 수단을 내부에 구비하여,

불순물을 제거하고 더욱 깨끗한 상태의 가스를 공급하는 역할을 하기도 합니다.